考慮到超高壓電力變壓器、直流換流變壓器真空注油的工藝要求，真空濾油機應具有如下功能：
(1)同時具有真空濾汕與注油功能。
(2)進油泵、排油泵的流紐和揚程必須與濾油機凈油能力和過濾系統的阻力(或通過壓力)相匹配。
(3)具有強勁的真空提升能力，以適應油箱的大容積、高真空度，一般110kV及以下充油電氣設備用變壓器油的凈化，采用一級真空濾油機，220kv及以上充油電氣設備用變壓器油的凈化，采用二級真空以上濾油機。
(4)具有全自動運行功能，適應長期連續不間斷運轉要求。
(5)采用自動跟蹤調速變流技術。為避免油泵或供油電磁閥的頻繁啟停造成斷流與過油泵頻繁供油不足、摩擦加劇、局部過熱而產生乙炔和過急的油流產生的流動帶電現高品質濾油機的自動油路不應再采用全開全關的泵或閥。
(6)濾油機應有再循環閥，以方便調節注油流速和提升注油壓力。
(7)考慮到與油再生裝置的配套使用.濾油機粗、細過濾器上必須有相應的接口。
無論哪種形式的真空濾油機，組成結構都大致相同，它是由一級濾網(粗濾)進油泵、加熱器、真空罐、出油泵、二級濾，泵和冷凝器以及各種閥門等組成。主要是用來脫出油中微量水和氣體，以滿足超高壓用油的質量要求。真空濾油機污染物來源：
(1)真空濾油機系統內部殘留：制造或裝配過程中殘留于系統內部的切屑、焊渣、型砂;
(2)真空濾油機系統內部生成：元件運動副間磨擦生成的磨屑、內表面銹蝕生成的銹片;
(3)真空濾油機系統外部侵入：從油箱口或液壓缸活塞桿伸出端進入的塵埃;
(4)真空濾油機維修中造成之污染：拆裝。
5μm左右的顆粒是卡死閥芯、堵塞節流孔、在系統內產生沉積的主要原由。而15μm以上的顆粒將導致堵塞節流孔和加速元件磨損。導致閥芯和柱塞卡死的zui大威脅被認為是接近閥芯和柱塞徑向間隙尺寸的固體顆粒。